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      中科院微電子所王盛凱研究員來學院講學

      供稿: 時間:2020-11-26 瀏覽:

       11月17日,應信息學院邀請,中國科學院微電子研究所王盛凱研究員為學院師生做了題為《等離子體在集成電路中的應用》的學術講座。

       王盛凱研究員將芯片制造比喻為建造“高樓大廈”,由芯片制造工藝引入了離子體的相關概念,介紹了等離子體在薄膜沉淀、光刻工藝、刻蝕、離子注入、金屬化等工藝過程中的廣泛應用。為加深同學們的學習印象,王盛凱研究員還演示了自己設計的駐極體薄膜產品。報告會后,王盛凱研究員與同學們進行了充分地互動交流,擴展了同學們的學術視野。

       王盛凱,2011年博士畢業于日本東京大學,現任中國科學院微電子所研究員,主要從事MOS缺陷工程與應用研究,發表論文86篇,授權發明專利38項(含美國專利5項),受邀在CS-international等業內權威會議上做特邀報告4次,承擔自然科學基金、科技部、中科院、中物院等多項科研項目。

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